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産品名稱：XYZ直線電機滑台
産品概要：
-- 直線軸XYZ納米級定位精度；
-- 精密交叉滾柱導軌。
-- 主體鋁合金(jīn)材質
産品精度：
-- XY軸重複精度±100nm
-- Z軸重複精度±200nm
産品名稱：XYθ平台
産品概要：
-- 直線軸XY+旋轉軸θ電機平台；
-- 小(xiǎo)行程精密運動場合；
産品精度：
-- XY軸重複精度±0.5μm
-- θ旋轉軸精度±2.5arcsec
産品名稱：耦合平台
産品概要：
-- 直線軸XYZ+旋轉軸ABC共6軸電機平台；
-- 适用光纖耦合；
産品精度：
-- XYZ軸重複精度0.3μm
-- ABC旋轉軸重複精度±1.5arc sec
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